檢測(cè)尺寸：
             滑片高度尺寸L。

檢測(cè)方式：
              氣動(dòng)非接觸式測(cè)量，以A面定位，在兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)分別布置兩組對(duì)向測(cè)量噴嘴，用來測(cè)量滑片的高度及平行度。

顯示部分：

     配用流量式、壓力式或氣電式量?jī)x。

主要技術(shù)指示:

    重復(fù)精度：≤1μm